Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,1°C cũng có thể khiến cấu trúc của lớp phim chiếu xạ thay đổi vài nanomet – và sự thay đổi này sẽ được ghi nhận trên bảng kết quả sản xuất. Trong công nghệ in ấn bằng phương pháp litography, việc kiểm soát nhiệt độ là điều cực kỳ quan trọng; đó chính là yêu cầu bắt buộc trong quy trình sản xuất. Chúng tôi thiết kế các bóng đèn sợi tử thủy ngân để đảm bảo rằng nhiệt độ được duy trì ở mức ổn định, giúp quy trình sản xuất diễn ra một cách chính xác và lặp lại được.
Năng lượng hồng ngoại tia ngắn phát ra từ sợi tử thủy ngân bên trong quartz có độ tinh khiết cao, giúp tạo ra nhiệt độ nhanh chóng và ổn định. Ở vùng nóng, độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, và nhiệt độ có thể được điều chỉnh ngay lập tức. Các bóng đèn này được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100, với các vật liệu được chọn lựa kỹ lưỡng để giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi và ngăn chặn sự nhiễm bẩn. Những bóng đèn này có thể hoạt động liên tục 24/7; chúng tôi đã chứng kiến chúng hoạt động hơn 5.000 giờ mà hiệu suất vẫn ở mức dưới 5%.
Điều quan trọng nhất là việc kiểm soát nhiệt độ ở giai đoạn nung khô lớp phim chiếu xạ. Nếu nhiệt độ quá thấp, lớp phim sẽ giữ lại chất dung môi; còn nếu nhiệt độ quá cao, cấu trúc của lớp phim sẽ bị biến dạng. Các bóng đèn của chúng tôi giúp duy trì nhiệt độ ở mức ổn định, giúp kiểm soát kích thước và góc của lớp phim một cách chính xác, từ chu kỳ này sang chu kỳ khác.
Kết quả là chất lượng sản phẩm được cải thiện, số lượng sản phẩm lỗi giảm, và việc tái sản xuất cũng ít hơn. Bạn cũng có thể tiết kiệm năng lượng vì quá trình truyền nhiệt diễn ra một cách hiệu quả. Thời gian sử dụng bóng đèn cũng kéo dài hơn, giúp giảm thời gian ngưng máy.
Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng bạn vẫn cần phải chú ý kỹ lưỡng. Hãy đảm bảo rằng bóng đèn được lắp đặt đúng vị trí, và thông số PID của bộ điều khiển nhiệt được thiết lập phù hợp để tránh tình trạng nhiệt độ không đồng đều. Hãy kiểm tra điện áp và tính tương thích của các kết nối với lò nung hoặc thiết bị phủ lớp phim, đồng thời đảm bảo rằng đường dẫn khí thoát luôn sạch sẽ và khô ráo.
Hãy coi quartz như một buồng công nghệ cao. Hãy sử dụng găng tay khi thao tác, tránh để có dấu vân tay trên bề mặt quartz, và hãy kiểm tra chất lượng lớp phim chiếu xạ bằng cách sử dụng wafer đã được calibrating trước khi đưa sản phẩm vào sản xuất.