Giữ cho các thiết bị sưởi trong phòng sạch không bị lệch hướng
Khi làm việc trong nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, các thiết bị sưởi không chỉ có chức năng giữ ấm các tấm wafer mà còn giúp tránh tình trạng quá tải điện trong môi trường vô trùng. Chúng ta chế tạo những thiết bị này để đạt được nhiệt độ mong muốn, nhưng yếu tố quan trọng nhất là độ ổn định về mặt điện.
Tại sao chúng tôi kiểm tra từng thiết bị một?
Chúng tôi không áp dụng phương pháp lấy mẫu ngẫu nhiên. Điều đó quá rủi ro. Thay vào đó, mỗi bộ phận sưởi đều phải trải qua nhiều bài kiểm tra về khả năng chịu điện áp cao và độ cách điện trước khi được xuất xưởng.
Chúng tôi áp dụng điện áp cao để kiểm tra xem lớp cách điện có hoạt động tốt hay không.
Tại sao phải làm vậy? Bởi vì nếu thiết bị sưởi bị hỏng trong phòng sạch, bạn không chỉ cần thay thế bộ phận hỏng mà còn phải lo lắng về nguy cơ dòng điện rò rỉ, gây hư hại cho các tấm wafer nhạy cảm hoặc gây ra hiện tượng ESD. Chỉ cần một lỗ nhỏ trên lớp phủ hoặc một vết nứt nhỏ trên bề mặt gốm thôi cũng có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng. Chúng tôi kiểm tra kỹ lưỡng mọi thứ để bạn không cần lo lắng.
Các biện pháp đảm bảo an toàn
Để ngăn dòng điện rò rỉ, chúng tôi sử dụng các vật liệu cách điện chất lượng cao để tách bộ phận sưởi khỏi thân máy. Điều này rất quan trọng vì phòng sạch có những quy định nghiêm ngặt về việc tránh tích tụ điện tích tĩnh.
Nhưng vấn đề là: hầu hết các sự cố xảy ra không phải ở chính bộ phận sưởi mà là ở các điểm kết nối.
Các thiết bị sưởi thường di chuyển và rung động. Điều này có thể làm hỏng lớp cách điện hoặc làm lỏng các dây điện theo thời gian. Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng các đầu nối chắc chắn. Đó là giải pháp đơn giản nhưng lại giúp thiết bị hoạt động ổn định.
Những điều bạn cần biết
Tuy nhiên, việc đạt được độ cách điện cao cũng có cái giá của nó. Lớp phủ cách điện dày hơn sẽ giúp thiết bị an toàn hơn, nhưng cũng làm chậm tốc độ làm nóng của thiết bị. Bạn phải hy sinh một chút về tốc độ làm nóng để đổi lấy sự an toàn tuyệt đối.
Lưu ý: Bạn có thể cần điều chỉnh các bộ điều khiển PID để khắc phục tình trạng chậm làm nóng này. Nếu không, nhiệt độ có thể vượt quá mức mong muốn. Việc điều chỉnh này mất một chút thời gian, nhưng một khi đã hoàn thành, mọi thứ sẽ ổn định.