Vai trò
Trên sàn sản xuất, hồ sơ nhiệt sấy photoresist không phải là đề xuất—nó là ranh giới giữa việc đạt tỷ lệ thành phẩm và phải loại bỏ phế phẩm. Công việc trong glovebox đòi hỏi nguồn nhiệt duy trì nhiệt độ ổn định mà không làm ô nhiễm buồng. Chúng tôi thiết kế các phần tử đèn sưởi hồng ngoại cho glovebox để hoạt động trong giới hạn đó.
Dưới đây là những điểm kỹ thuật quan trọng.
Chúng tôi sử dụng bộ phát hồng ngoại sóng ngắn quartz-halogen, được chọn vì phản hồi nhanh và kiểm soát phổ chặt chẽ. Thực tế, điều này có nghĩa là thời gian ổn định nhiệt dưới một giây, giúp ngân sách nhiệt nằm trong phạm vi dung sai của photoresist. Độ đồng đều ở mức wafer được giữ trong ±0.1°C, và thân đèn sưởi phù hợp với tiêu chuẩn vận hành phòng sạch Class 1–100.
Cường độ phát ra duy trì ổn định trên 5,000+ giờ, với độ trôi cường độ dưới 5%. Không phát sinh hạt bụi không phải là khẩu hiệu—mà là yêu cầu thiết kế, được xác nhận bằng giám sát hạt trong buồng tại chỗ trong quá trình chạy hiệu chuẩn.
Tại sao nó phù hợp với hỗ trợ lithography.
Phần tử duy trì nhiệt độ soft bake và hard bake với độ lặp lại cho phép kiểm soát CD và overlay có thể dự đoán được. Tốc độ tăng nhiệt nhanh rút ngắn chu kỳ mà không bị vượt nhiệt, và gia nhiệt cục bộ giảm tiêu thụ năng lượng so với lò nướng dạng hộp. Kết quả là giảm số lượng lô phế phẩm, giảm tái xử lý và giảm thời gian dừng máy ngoài kế hoạch.
Ở các node tiên tiến, sự ổn định này bảo vệ OEE dây chuyền và giữ cho cửa sổ quy trình photoresist không bị phá vỡ do dao động nhiệt.
Một số lưu ý thực tiễn.
Đèn sưởi hoạt động hiệu quả nhất khi hình học buồng glovebox và dòng khí phù hợp với dạng bức xạ. Cần có tầm nhìn trực tiếp tới mục tiêu, và khi sử dụng tấm chắn phản xạ phải được chỉ định chính xác để tránh điểm nóng.
Việc lắp đặt đơn giản, nhưng gioăng giao diện và feedthrough phải được chọn phù hợp với áp suất và hóa chất trong buồng để giữ nguyên vẹn độ kín. Lập kế hoạch ngân sách nhiệt dựa trên bước sóng đỉnh của bộ phát để không kích hoạt độ nhạy photoresist, và kiểm tra phản hồi vòng điều khiển với bộ điều khiển hiện có để tránh dao động.