300 ملی میٹر لائن پر، ہم پہلے ہی تھرمل بجٹ کی حدود کو عبور کر چکے ہیں۔ سافٹ بیک کے دوران آدھے ڈگری کا فرق بھی فوٹوریزسٹ کی ساخت کو متأثر کر سکتا ہے، جبکہ ہارڈ بیک کے دوران غیر یکساںیاں ایسی جگہ پیدا ہوتی ہیں جہاں ان کی کوئی ضرورت نہیں ہوتی – یعنی کناروں پر۔ ایسی غیر یکساںیاں نہ صرف عمل کو سست کرتی ہیں، بلکہ مصنوعات کو بیکار بھی بنا دیتی ہیں۔ ہم ان ASML لیتھوگرافی لیمپوں کا استعمال کرکے اس غیر یکساںی کو دور کرتے ہیں۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم ASML پلیٹ فارم کی تھرمل خصوصیات کو سافٹ اور میڈیم ویو آؤٹ پٹ کے ساتھ ہم آہنگ کرتے ہیں، تاکہ فوٹوریزسٹ کو مناسب درجہ حرارت پر رکھا جا سکے۔ بیکنگ کے دوران، ویفر کی سطح پر یکساںی ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور ہر چکر میں یہ یکساںی ±0.2°C کے اندر رہتی ہے۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کے صاف کمروں میں بغیر کسی ذرے کے استعمال ہوتے ہیں، اور اس کی تصدیق بھی وہیں کی جاتی ہے۔ یہ لیمپ 24/7 کام کرنے کے لئے بنائے گئے ہیں – 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کام کر سکتے ہیں، اور ان کا آؤٹ پٹ 5% کے اندر رہتا ہے۔ چونکہ ان کے وولٹیج اور کنیکٹرز ASML ٹولز کے انٹرفیس سے ہم آہنگ ہیں، اس لئے ان کو تبدیل کرنے کے بعد کسی قسم کی دوبارہ جانچ کی ضرورت نہیں پڑتی۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟
اس لئے کہ اس سے پروسیس میں یکسانیت برقرار رہتی ہے۔ اس لیمپ کی بدولت، سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے دوران درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے، جس سے کریٹیکل ڈائمینشن کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور کناروں پر موجود غیر ضروری مواد کو دور کرنا آسان ہو جاتا ہے۔ بہتر تھرمل یکسانیت کی وجہ سے ورک وراؤنڈ کم ہوتا ہے، بیکار مصنوعات کم ہوتی ہیں، اور لیمپ تبدیل کرنے کے بعد پروسیس جلد ہی مستحکم ہو جاتا ہے۔ اس کے علاوہ، توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیونکہ لیمپ جلدی ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اور اس کے نتیجے میں توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے۔
کچھ عملی نکات:
انسٹالیشن بہت آسان ہے، لیکن لیمپ کو صاف رکھنا ضروری ہے، اور ESD کے اصولوں کی پابندی کرنی ضروری ہے۔ کوارٹز کی سطح پر انگلی کے نشانات سے گرم نقاط پیدا ہو سکتے ہیں۔ لیمپ کو استعمال کرنے سے پہلے اس کے فرم ویئر کی جانچ ضرور کریں – کچھ پرانے کنٹرولرز کو نئے لیمپ کے لئے کیلیبریشن کی ضرورت ہوتی ہے۔ جب سب کچھ ٹھیک ہو جائے، تو ایک چھوٹا سا ٹیسٹ لاٹ چلائیں، تاکہ ڈوز اور درجہ حرارت کی جانچ کی جا سکے، پھر اس لیمپ کو اپنے PM شیڈول میں شامل کریں۔