На заводі з виробництва чипів навіть незначна зміна температури у розмірі 0,5°C під час процесу висушування може призвести до серйозних наслідків – це може призвести до втрати якості продукції та перетворення готової продукції на сміття. У процесі літографії немає місця для припущень чи неспланованих зупинок. Сталий процес виробництва є чимось конкретним та вимірюваним: кількість ват на один чіп, кількість частинок на кубічний фут, тривалість роботи обладнання протягом 7×24 годин.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми розробили системи терморегулювання так, щоб температура на поверхні чіпа залишалась стабільною в межах ±0,1°C протягом усього процесу висушування. Це дозволяє забезпечити стабільність процесу з циклу в цикл. Використання короткохвильового інфрачервоного опромінення дозволяє швидко та ефективно передавати енергію, що сприяє економії енергії. Сумісність з умовами чистих приміщень класу 1–100 є необхідною умовою – це передбачено самою конструкцією обладнання: герметичні камери, матеріали з низьким рівнем вивільнення газів, відсутність утворення частинок під час процесу висушування.
Чому це ефективно
Процес обробки чіпів включає кілька етапів, і саме стабільність температури визначає якість продукції. Точне терморегулювання дозволяє скоротити час виконання процесу, зменшити кількість відходів та знизити споживання енергії на одну партію продукції.
Нюанси
Ці системи можна використовувати разом з існуючим обладнанням для літографії, але температурний профіль мусить відповідати характеристикам матеріалів та фотополімерів. Необхідно провести короткі тестування для визначення оптимальних значень температури та часу процесу висушування.
Енергоспоживання
Енергоспоживання є простим, але для правильного функціонування обладнання потрібна окрема електрична мережа – інакше може виникнути нестабільність під час швидких змін температури.