На ділянці літографії процес випікання фоторезисту визначає, як тепловий бюджет перетворюється на контроль ширини ліній. Навіть відхилення софтбейку на один градус змінює, як розчинник виводиться з матеріалу. Якщо ж хардбейк не рівномірний по всій пластині, можна забути про точну однорідність критичних розмірів (CD). Саме в таких випадках нагрівачі на основі вуглецевих нанотрубок демонструють свою ефективність.
Технічні особливості
Ми спроектували ці нагрівачі, використовуючи короткохвильове інфрачервоне випромінювання з емісійним елементом з вуглецевих нанотрубок. Вони швидко досягають заданої температури та утримують її стабільно. Результатом є теплове поле над поверхнею пластини з однорідністю в межах субміліметра і рівнем варіації ±0.1°C при типових температурах випікання фоторезисту.
Повторюваність утримується в межах менше 0.05°C від відхилень заданої температури протягом 24 годин, що забезпечує однаковий тепловий профіль для кожної партії. Система працює без генерації частинок, що підтримує чистоту, і придатна для чистих приміщень класу від 1 до 100.
Причини ефективності у виробництві
У щоденній експлуатації ця точність означає меншу кількість перепроб і більш вузький розподіл CD. Вікна софтбейку та хардбейку стають передбачуваними, що зменшує проблеми з експозицією та дефекти від залишкових розчинників.
Швидка термальна реакція скорочує час циклів випікання і знижує енергоспоживання. Надійність роботи 24/7 допомагає уникнути незапланованих простоїв. Забезпечується стабільна робота фоторезисту партію за партією.
Важливі зауваження
Ці нагрівачі інтегруються в існуючі coat/bake лінії, але мають низьку теплову масу. Це вимагає переналаштування температурного профілю печі під більш швидкий нагрів. Дотримуйтеся проєктного зазору навколо емісійного елемента — підтримка однорідності та запобігання локальним перегрівам є обов’язковими.
Домовтеся з вашим постачальником обладнання щодо заміни, після чого проведіть коротке кваліфікаційне випробування партії для фіксації рецептури.