ในโรงงานผลิตชิป ความผันผวนของอุณหภูมิระหว่างการอบแห้งหรือการเผาชิปนั้น ไม่ได้ส่งผลเพียงแค่ในรูปแบบของข้อมูลบนกราฟเท่านั้น แต่ยังส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพการผลิตอีกด้วย การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ก็สามารถทำให้ขนาดของชิปเปลี่ยนแปลงไปได้ถึงระดับนาโนเมตร นอกจากนี้ หากเครื่องทำความร้อนมีความสกปรก ก็อาจทำให้เกิดอนุภาคที่ก่อให้เกิดความเสียหายได้ เราจึงสร้างเครื่องทำความร้อนแบบ PID เพื่อควบคุมความผันผวนเหล่านี้ตั้งแต่ต้น
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิคก็คือ การใช้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นร่วมกับตัวควบคุมแบบ PID เพื่อรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C สำหรับแผ่นวัสดุที่ใช้ในการผลิตชิป ส่วนความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นวัสดุนั้นควรอยู่ในช่วง ±0.5°C เพื่อให้ชั้นฟอโตรีซิสต์ได้รับอุณหภูมิที่เท่ากันทั่วทั้งแผ่น ความเร็วในการตอบสนองของเครื่องทำความร้อนอยู่ที่น้อยกว่า 300 มิลลิวินาที ซึ่งช่วยให้การควบคุมอุณหภูมิมีความแม่นยำมากขึ้น นอกจากนี้ หน้าต่างที่ทำจากควอตซ์และตัวเครื่องที่สามารถใช้งานได้ในห้องที่มีความสะอาดสูงนั้น มีมาตรฐานอยู่ในระดับ Class 1–100 และเครื่องทำความร้อนนี้ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ในขณะที่ทำงาน ในช่วง 24 ชั่วโมง ความผันผวนของอุณหภูมิจะอยู่ในช่วง ≤0.2°C ซึ่งเพียงพอที่จะรักษาความแม่นยำในการผลิตชิปได้
นี่คือวิธีการทำงานของเครื่องทำความร้อนนี้ในกระบวนการผลิตชิป สำหรับการอบแห้งแผ่นวัสดุ รังสีอินฟราเรดที่มีพลังงานสูงจะช่วยขจัดความชื้นบนพื้นผิวได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้วัสดุเสียหาย ซึ่งช่วยลดข้อบกพร่องที่เกิดจากแรงตึงผิว ส่วนในขั้นตอนการถ่ายภาพวัสดุ เครื่องนี้สามารถใช้ในการอบแบบอ่อนและอบแบบแข็งได้ โดยมีค่าอุณหภูมิที่แม่นยำ ซึ่งเหมาะสำหรับการผลิตชิปที่มีความหนาของชั้นฟอโตรีซิสต์ที่สม่ำเสมอ และมีความสามารถในการกัดวัสดุได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ตัวควบคุมแบบ PID จะช่วยปรับสมดุลของอุณหภูมิเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงของวัสดุหรือสภาพแวดล้อมต่างๆ ดังนั้น แม้จะเป็นเวลา 3 โมงเช้า อุณหภูมิก็ยังคงอยู่ในระดับเดียวกับเวลา 3 โมงบ่าย นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะรังสีอินฟราเรดจะทำงานเฉพาะบนวัสดุเท่านั้น ไม่ใช่บนโครงสร้างอื่นๆ
มีข้อควรระวังอีกอย่างคือ การติดตั้งเครื่องทำความร้อนนี้จำเป็นต้องคำนึงถึงค่าความสามารถในการปล่อยรังสีและมุมมองของรังสีด้วย การใช้สีที่มืดหรือตัวป้องกันที่ไม่เหมาะสมอาจทำให้เกิดจุดร้อนขึ้นได้ ดังนั้นเราจึงแนะนำให้มีการปรับแต่งค่าต่างๆ โดยใช้เครื่องวัดอุณหภูมิที่เหมาะสมกับแผ่นวัสดุของคุณ นอกจากนี้ เครื่องทำความร้อนนี้สามารถใช้ได้กับแรงดันไฟฟ้า 24 โวลต์ และ 110–240 โวลต์ แต่การปรับแต่งค่าต่างๆ นั้นจะขึ้นอยู่กับการใช้งานจริง ควรมีการทดสอบการใช้งานเพื่อกำหนดค่าที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการผลิตของคุณด้วย