На этапе литографии небольшое повышение температуры в размере 0,5°C на поверхности пластины может серьезно повлиять на качество обработки и контроль параметров поверхности пластины. Методы мягкой и жесткой подготовки пластин не способны компенсировать такие неравномерности температуры — никогда не могли и никогда не смогут. Мы разработали устройство для измерения напряжения поверхности пластины, что позволяет устранить эти неравномерности. Благодаря этому температура на всей поверхности пластины остается стабильной в пределах ±0,1°C.
Что важно при эксплуатации Это устройство соответствует требованиям чистых помещений: имеет минимальное количество частиц и тесно соединено с поверхностью пластины. Температура контролируется в реальном времени, поэтому заданный уровень температуры сохраняется на протяжении всего процесса обработки. Повторяемость результатов обеспечивается за счет правильной конструкции устройства и системы управления. Это позволяет снизить вариабельность качества продукции от партии к партии. Получается стабильное удаление растворителя, предсказуемое движение фоторезиста и стабильная энергия поверхности — именно это необходимо для успешной обработки пластины.
Почему это полезно в производстве В условиях классов чистоты 1–100 это устройство можно использовать без увеличения количества частиц. Отсутствие частиц способствует повышению качества продукции и снижению количества бракованных изделий. Равномерное тепловое поле позволяет сократить время обработки, не снижая при этом качества фоторезиста. Это устройство предназначено для круглосуточной работы, поэтому температурные колебания и неравномерности температуры не приводят к простоям в производстве.
Что необходимо учитывать при использовании Для корректной установки необходимо точное выравнивание устройства относительно поверхности пластины, а также обеспечение чистого и сухого газа для защиты поверхности устройства. Устройство работает с стандартными интерфейсами, но при модернизации может потребоваться небольшая механическая настройка. Срок службы устройства увеличивается, если система вентиляции и охлаждения соответствует тепловым нагрузкам. Если все настроено правильно, процесс будет выполняться стабильно, день за днем.