Как сохранять температуру в химических ваннах на необходимом уровне (без риска взрыва)
Честно говоря, нагрев химических ванн, используемых для очистки полупроводников, — это настоящий кошмар. Нужно постоянно соблюдать строгие параметры температуры. С другой стороны, вокруг нас находятся химические пары, которые могут вызвать взрыв при малейшем искре.
Использование обычной инфракрасной лампы в таких условиях — это не только рискованно, но и приведет к проблемам. Поэтому мы перестали использовать лампы с открытыми элементами нагрева и начали использовать герметичные упаковки для них.
Секрет заключается в герметичности
Мы оборачиваем инфракрасный излучатель высококачественной кварцевой оболочкой. Затем добавляем еще один слой защиты сверху. Это создает физический барьер между нагреваемым элементом и опасными парами. Никакого контакта, никаких искр, никаких взрывов.
Мы также стараемся использовать материалы, которые не будут разрушаться под действием химикатов. Все материалы должны быть инертными. Если герметизация нарушается, лампа просто перестает работать. Она “умирает” без шума, не разрушая остальную часть помещения.
Решение проблем, связанных с теплом
Эти системы реагируют быстро. Именно поэтому необходимо соблюдать строгие параметры температуры. Но так много тепла в одном месте создает свои проблемы. Нельзя просто поместить лампу в коробку и считать, что все в порядке. Металл расширяется, герметизация нарушается.
Чтобы избежать утечек или трещин при нагревании, мы используем гибкие уплотнители,устойчивые к высоким температурам. Они позволяют сохранять герметичность как при низких температурах, так и при полной нагрузке.
Установка и использование
Эти устройства спроектированы так, чтобы их можно было заменить без разборки всей установки. Достаточно просто подключить их к существующим контроллерам.
Небольшое замечание: из-за использования защитной оболочки интенсивность инфракрасного излучения немного снижается по сравнению с обычной лампой. Это не критично, но возможно, потребуется немного увеличить мощность для достижения желаемой температуры.