Почему мы используем золото для нагрева кремниевых пластин
При нагреве кремниевых пластин любая энергия, которая не попадает на цель, является бесполезной тратой средств. Что ещё хуже, эта лишняя энергия начинает проникать в корпус оборудования, а это совсем не то, чего хочется.
Чтобы избежать этого, мы сочетаем инфракрасные лампы из углеродного волокна с отражателями, покрытыми золотом. Алюминиевые отражатели тоже подходят – они справляются с задачей неплохо. Но золото? Золото находится на совершенно другом уровне.
Секрет заключается в способности золота отражать инфракрасное светило. Золото отражает инфракрасный свет гораздо лучше, чем алюминий или серебро. Мы наносим тонкий слой золота на поверхность отражателя, чтобы он мог перехватить фотоны, которые иначе просто рассеялись бы в вакууме. В результате получается точка сильного нагрева, что позволяет быстрее достичь нужной температуры. Это эффективно и просто.
Но есть и недостатки… Когда такое количество энергии направляется на пластину, сама лампа испытывает значительное давление. Корпус лампы также подвергается серьезным нагрузкам. Нельзя просто установить такие лампы и забыть о них. Необходимо убедиться, что системы охлаждения работают должным образом. Если поток воздуха слабый, отражатели или нити нагревателя могут повредиться или сгореть слишком быстро.
Как использовать их на производстве
Мы создали эти лампы так, чтобы они можно было заменить без необходимости полной перестройки всей установки. А самое лучшее – благодаря высокой концентрации энергии можно достичь нужной температуры при меньшем количестве энергии. Это поможет уменьшить нагрузку на источник питания. Для инженеров это означает сокращение времени обработки и более равномерное распределение тепла по всей пластине. Речь не идет о каком-то «крутом» покрытии – речь идет о том, чтобы тепло действительно доходило туда, куда нужно.