W linii produkcyjnej o długości 300 mm nie można tolerować żadnych odchyleń podczas procesu delikatnego wysuszania fotorezystu, ani też wzrostu liczby cząstek podczas suszenia płytek krzemowych. Gdy budżet cieplny jest ograniczony, element grzewczy nie jest tylko elementem sprzętowym – to integralna część procesu. Nasze moduły grzewcze oparte na promieniowaniu podczerwonym są przygotowane właśnie do takich sytuacji, zapewniając precyzyjną kontrolę temperatury bez konieczności używania domysłów.
Co ma znaczenie z technicznego punktu widzenia?
Korzystamy z krótkofalowego promieniowania podczerwonego, aby uzyskać szybką i bezpośrednią transmisję energii – z czasem reakcji poniżej sekundy. Dzięki temu uzyskujemy równomierność temperatury na całej powierzchni płytki krzemowej w przedziale ±0,1°C w strefie suszenia – dokładnie to, co jest potrzebne do prawidłowego przeprowadzenia procesu delikatnego lub intensywnego suszenia. Emiterzy nie wytwarzają żadnych cząstek, a mogą być używane w warunkach od klasy 1 do klasy 100. Wydajność emiterów pozostaje stabilna przez ponad 5 000 godzin, dzięki czemu możliwa jest powtarzalność procesu, a parametry jakościowe płytek krzemowych nie ulegają zmianom wraz z upływem czasu.
Dlaczego to działa tam, gdzie jest to najważniejsze?
W celach litograficznych moduły te umożliwiają utrzymanie stałej temperatury podczas procesu delikatnego suszenia, dzięki czemu parowanie rozpuszczalników odbywa się zgodnie z specyfikacjami producenta fotorezystu, a nie pod wpływem zmian temperatury otoczenia. Podczas suszenia moduły te umożliwiają dokładne wykonanie procesu bez powstawania „znaków wodnych”, co redukuje konieczność korekty i marnotrawstwa materiału. Zużycie energii maleje, ponieważ emiterzy grzeją tylko celowany obszar, a nie całą komorę.
A gdy trzeba utrzymać ciągłość procesu, dostępne są moduły awaryjne. Można je zainstalować w istniejących urządzeniach, korzystając z określonych konektorów i plików kalibracyjnych, dzięki czemu można przywrócić sprawność urządzenia bez konieczności ponownej kalibracji całego procesu.
To właśnie należy uwzględnić przy planowaniu:
Promieniowanie podczerwone wymaga określonej geometrii i współczynnika emisji. Trzeba odpowiednio rozmieścić emiterzy, aby uzyskać optymalny efekt grzewczy dla danej płytki krzemowej. Następnie należy przeprowadzić testy akceptacyjne, aby ustalić idealną temperaturę. Oczekuje się krótkiego czasu nagrzewania, po którym temperatura pozostaje stabilna. Kontrola temperatury jest kluczowa dla stabilnego przebiegu procesu.