Na linii produkcyjnej wahania temperatury podczas suszenia lub pieczenia nie są tylko widoczne na wykresie – one bezpośrednio wpływają na jakość produktu. Nawet niewielka zmiana temperatury o 1°C może powodować zmiany wymiarów elementów o kilka nanometrów. Brudny grzałka może też wprowadzić cząsteczki, które mogą zniszczyć produkt. Stworzyliśmy grzałkę typu PID, która pozwala kontrolować te wahania na samym źródle.
Technicznie rzecz biorąc, ważne jest utrzymanie temperatury w przedziale ±0,1°C na całej powierzchni płytki. Jednolitość temperatury na całej powierzchni powinna być większa niż ±0,5°C, aby cała warstwa fotorezystu otrzymywała taką samą ilość ciepła. Czas reakcji grzałki wynosi mniej niż 300 ms, co zapewnia precyzyjną kontrolę procesu. Okno kwarcowe oraz obudowa odporna na warunki panujące w salach czystych spełniają standardy klasy 1–100. Grzałka nie wyrzuca żadnych cząsteczek przy swojej pracy. W ciągu 24 godzin powtarzalność wynosi ≤0,2°C – co wystarcza, aby zachować właściwe parametry produktu.
W przypadku suszenia płytek szybki i jednolity promieniowanie infraczerwone sprawia, że wilgoć z powierzchni zostaje usunięta, bez uszkadzania samej płytki. To zmniejsza problemy związane z napięciem powierzchniowym i eliminuje efekt „smug”. W procesie litografii ta sama platforma umożliwia realizację procesów suszenia w różnych trybach – dokładnie to jest potrzebne do uzyskania jednakowej grubości warstwy fotorezystu, jej przyczepności oraz selektywności przy procesie etchingu.
Cykl PID kompensuje wahania temperatury spowodowane różnicami między partiami produktów czy zmianami warunków otoczenia. Dzięki temu czas pracy w nocy nie ma znaczenia. Ponadto zużycie energii jest mniejsze – promieniowanie infraczerwone ogrzewa tylko cel, a nie całą obudowę.
Kilka praktycznych uwag: montaż grzałki zależy od jej emisyjności i kąta widzenia. Ciemne powłoki lub osłony mogą powodować lokalne miejsca o wyższej temperaturze, dlatego dostarczamy mapę kalibracyjną i zalecamy dokonanie pomiarów za pomocą specjalnego przyrządu pomiarowego na konkretnym urządzeniu. Grzałka pracuje przy standardowym napięciu 24 V, a także przy napięciach od 110 do 240 V. Jednak ustawienia PID są dostosowywane do konkretnego zastosowania. Planujcie krótkie testy, aby ustawić odpowiednie wartości dla waszego procesu.