Op de lithografieafdeling kan een temperatuurverschil van 0,5°C over het oppervlak van de wafer gevolgen hebben voor de kwaliteit van het eindproduct. Zowel zachte als harde verhittingsmethoden kunnen geen oneffenheden in de temperatuur compenseren – nooit eerder, en nooit meer. We hebben een apparaat ontworpen om de temperatuur op het oppervlak van de wafer nauwkeurig te regelen, zodat de temperatuur over het hele oppervlak binnen ±0,1°C blijft.
Wat belangrijk is onder de motorkap Het gaat om een heater die geschikt is voor gebruik in een schone ruimte, met weinig deeltjes. De heater is thermisch goed verbonden met het oppervlak van de wafer. De temperatuur wordt in real time geregeld, zodat deze constant blijft gedurende het hele proces. De herhaalbaarheid van het proces wordt gegarandeerd door de constructie en de controlemechanismen. Hierdoor neemt de variatie tussen batches af. Er wordt zo een consistente afname van het solventenoppervlak bereikt, evenals een voorspelbaar effect van het fotoresistentmateriaal. Dit is precies wat nodig is voor een stabiel proces.
Waarom het ideaal is in de productie In omgevingen met een zuiverheidsniveau van Class 1–100 past de heater zich gemakkelijk aan, zonder dat er te veel deeltjes worden gegenereerd. Het gebrek aan deeltjes zorgt voor een hogere productiegraad en minder afval. Het uniforme warmtestroomveld zorgt er bovendien voor dat de verhittingsduur kan worden verkort, zonder dat de kwaliteit van het fotoresistentmateriaal wordt beeïnvloed. Hierdoor kan de productiecapaciteit worden verhoogd en wordt de energieverbruik per wafer verminderd. De heater kan 24/7 draaien, zodat er geen onverwachte stilstanden optreden.
Wat er nodig is om het proces goed te laten werken Voor een goede installatie is nauwkeurige alignering met de waferchuck essentieel. Daarnaast moet er een schone en droge gasstroom beschikbaar zijn om het oppervlak van de heater te beschermen. De heater werkt met standaardinterfaces, maar bij renovaties kan er wel wat mechanische aanpassing nodig zijn. De levensduur van de heater blijft hoog wanneer de uitlaatgassen en de koeling goed aansluiten op de behoeften van de heater. Anders kan de controlekwaliteit verminderen. Als alles goed wordt ingesteld, blijft het proces dag in dag uit op de gewenste manier werken.