Houd je MEMS-sensorwafers echt schoon tijdens het drogen
Bij het drogen van MEMS-sensorwafers is warmte nog maar de helft van het probleem. Het echte probleem is dat er stofdeeltjes vrijkomen tijdens het drogen. In een class 100-zuiverheidskamer is één klein stukje oude isolatie of één spoorje metaaloxide al voldoende om hele batches te verpesten. Dat is frustrerend en kostbaar.
Daarom gebruiken we infraroodlampen gemaakt van hoogzuiver kwarts.
Het probleem met “standaard” warmtebronnen
De meeste verwarmingselementen hebben de neiging om gasen af te geven of stukjes van zichzelf af te scheiden wanneer ze opwarmen en afkoelen. Wij doen dat niet. Door gebruik te maken van hoogzuiver kwarts krijgen we een materiaal dat extreme temperatuurschokken kan verdragen zonder te barsten of te krassen.
We hebben ook alle organische bindmiddelen en goedkope coatingen weggehaald. Waarom? Omdat deze stoffen kunnen verdampen en zich op de wafels kunnen nestelen. Hierdoor krijg je een warmtebron die gewoon zijn werk doet, zonder dat er rommel achterblijft.
Voorkom het verschuiven van stof
Bij convectieverwarming is er behoefte aan bewegende lucht. En bewegende lucht betekent dat er ook stof wordt opgeworpen. We gebruiken in plaats daarvan kortegolf-infraroodlicht. Dit type licht stuurt energie rechtstreeks naar de waterdruppels op de wafel. Het is snel – echt heel snel. En omdat er geen lucht met hoge snelheid over de wafel wordt geblazen, wordt er geen stof opgeworpen in de zuiverheidskamer.
De details van de installatie
Het installeren van deze lampen in een droogstation is niet zomaar “plug and play”. Je moet ervoor zorgen dat de stroomsterkte op het juiste niveau ligt. Deze hoogwaardige kwartsbuizen genereren veel warmte, dus je stroomvoorziening moet dit aankunnen.
Je moet ook controleren of de koeling goed werkt. Als de behuizing niet goed geventileerd is, kan de omringende hitte de bevestigingsonderdelen beschadigen. Het is lastig om dit later nog te herstellen, dus zorg er vanaf het begin voor dat de luchtcirculatie goed is.
We houden de afmetingen zo compact mogelijk, zodat deze lampen gemakkelijk in je vacuümkamers of droogtunnels passen. Hierdoor wordt de warmte rechtstreeks overgedragen, waardoor het drogen sneller gaat en de opbrengst beter is. Let erop dat je bedrading geschikt is voor de thermische belasting. Niemand wil immers gesleten verbindingen.