Pada lantai litografi, pembakaran photoresist adalah di mana bajet terma anda berubah menjadi kawalan lebar garis. Perubahan suhu soft bake walaupun satu darjah mempengaruhi bagaimana pelarut dikeluarkan. Dan jika hard bake tidak konsisten merentasi wafer, ketepatan uniformiti dimensi kritikal (CD) tidak akan tercapai. Di sinilah pemanas fabrikasi nanotube karbon menunjukkan kebergunaannya.
Apa yang penting, secara teknikal
Kami membina pemanas ini berdasarkan inframerah gelombang pendek dengan pemancar nanotube karbon. Ia mencapai titik suhu dengan cepat dan mengekalkan kestabilan. Keputusan yang diperoleh adalah medan haba merata di seluruh satah wafer dalam jarak kurang dari sub-milimeter, dengan uniformiti peringkat wafer ±0.1°C pada suhu pembakaran photoresist biasa.
Pengulangan tepat dicapai dengan drift setpoint-ke-setpoint di bawah 0.05°C dalam tempoh 24 jam, jadi setiap lot mendapat profil terma yang sama. Sistem ini kekal bersih, menghasilkan sifar partikel, dan sesuai dengan persekitaran bilik bersih kelas dari Class 1 hingga Class 100.
Mengapa ini berfungsi dalam produksi
Dalam operasi harian, ketepatan tersebut diterjemahkan kepada pengurangan jumlah lot kerja semula dan taburan CD yang lebih ketat. Jangka masa soft bake dan hard bake menjadi boleh diramalkan, sekaligus mengurangkan isu jangkaan pendedahan dan kecacatan scum akibat pelarut tidak dikeluarkan sepenuhnya.
Respons terma yang pantas memendekkan kitaran pembakaran dan mengurangkan penggunaan tenaga. Ketahanan operasi 24/7 membantu mengekalkan masa henti tidak dirancang di luar sistem. Anda mendapat prestasi photoresist yang konsisten, lot demi lot.
Apa yang perlu anda ketahui
Pemanas ini boleh dipasang pada trek coat/bake sedia ada, namun jisim terma adalah rendah. Ini bermakna anda perlu menyelaraskan semula profil ketuhar untuk menyesuaikan kelajuan pemanasan yang lebih pantas. Pastikan jarak sekitar pemancar dikekalkan seperti reka bentuk—mengekalkan uniformiti dan mengelakkan titik panas tempatan adalah aspek yang tidak boleh dikompromi.
Koordinasikan penyesuaian dengan pembekal peralatan anda semasa pertukaran, kemudian jalankan lot kelayakan pendek untuk mengunci resipi operasi.