반도체 히터의 배선을 올바르게 하는 방법
반도체 공장에서는 “충분히 가깝다”는 개념은 존재하지 않습니다. 아주 약간의 전기 누설만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 그래서 우리는 이러한 히터에 PTFE(테플론)로 코팅된 배선을 사용합니다. 이 물질은 극심한 온도 변화에도 깨지거나 이상한 기체를 방출하지 않습니다.
배선은 단순히 전력을 전달하는 수단이 아닙니다. 그것은 마지막 보호 장치입니다.
왜 모든 리드를 검사하는가?
우리는 여기서 “배치별 표본 검사”를 하지 않습니다. 그건 너무 위험합니다. 대신, 모든 리드는 공장을 떠나기 전에 반드시 내전압 및 절연 저항 테스트를 거칩니다.
왜냐하면 테플론 코팅에 아주 작은 구멍이 생긴다 해도, 그 순간부터 히터가 최고 온도에 도달하면 아크가 발생하여 단락이 일어날 수 있습니다. 그렇게 되면 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다.
우리는 정상적인 작동 범위를 훨씬 넘는 전압을 가해 테스트합니다. 차라리 QC 실험실에서 결함을 발견하는 게 낫습니다.
알아야 할 타협점들
PTFE가 최고의 소재인 이유가 있습니다. 화학물질과 반응하지 않으며, PVC나 실리콘처럼 녹아버리지도 않습니다. 게다가 벽이 얇아서 배선이 많은 공간을 차지하지 않습니다.
하지만 단점도 있습니다. 바로 딱딱하다는 것입니다. 실리콘처럼 쉽게 구부러지지 않습니다. 만약 히터가 복잡한 형태를 가지고 있다면, 구부릴 때 주의해야 합니다. 너무 세게 구부리면 구리 코어에 불필요한 스트레스가 가해집니다.
안전과 접지를 위해
고온 환경에서 배선을 연결할 때, 절연 처리가 전류가 장비 내부로 유출되는 것을 막아줍니다. 이를 통해 장비가 접지 상태를 유지하며, 무엇보다도 작업자들의 안전을 보장할 수 있습니다.
우리는 절연 저항을 확인하여 누설이 전혀 없는지 확인합니다.
마지막 팁: 고전압을 사용할 경우, 커넥터도 꼼꼼히 확인해야 합니다. 커넥터가 테플론 배선과 같은 열을 견딜 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않다면, 아무리 좋은 배선이라도 연결 부위가 가장 취약한 부분이 됩니다.