생체센서를 항상 깨끗하게 유지하기
클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 알다시피, 아주 작은 먼지 한 알만 있어도 전체 작업물이 버려집니다. 정말 짜증나는 일이죠. 대부분의 가열 요소들은 이러한 환경에 적합하지 않습니다. 안정적으로 작동해야 할 순간에 오히려 기체가 발생하거나 입자가 떨어져 나옵니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용하기로 했습니다.
왜 석영이 효과적인가요?
사용하는 석영은 매우 순수해서, 열이 가해질 때도 성가신 휘발성 유기화합물(VOCs)을 방출하지 않습니다. 시간이 지나면서 표면이 벗겨지는 금속관과 달리, 석영관은 항상 매끄러운 상태를 유지합니다. 가열 요소는 안쪽에 단단히 밀폐되어 있어서 열이 복사 형태로 전달됩니다. 가열 요소가 센서 위에 직접 닿지 않으므로 물리적 오염의 위험이 없습니다. 이 방식이 훨씬 깨끗한 작업 방법입니다.
속도와 열량
이 램프들은 집중된 단파 적외선 스펙트럼을 사용합니다. 간단히 말해, 목표 온도에 도달하는 데 몇 초밖에 걸리지 않습니다. 정말 빠릅니다. 웨이퍼가 가열되는 시간이 줄어들수록 공기 중의 오염물질이 웨이퍼에 달라붙을 시간도 줄어듭니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 전력 밀도를 잘 조절해야 합니다. 이 램프들은 작은 공간에 많은 열을 생성합니다. 만약 장비가 그러한 부하를 견딜 수 없다면, 장착 브라켓이 변형되거나 전자 부품이 과열될 수 있습니다. 따라서 램프 주변의 공기를 안정적으로 유지하기 위해 추가적인 냉각 장치를 사용하는 것이 좋습니다.
설치 및 관리 방법
이 램프들은 표준 커넥터를 사용하고 있어서, 기존 장비에 그대로 장착할 수 있습니다. 그러므로 정지 시간이 줄어들고 작업 속도가 빨라집니다. 모든 것을 “청정실 수준”으로 유지하려면, 전자용 이소프로필 알코올을 사용하여 청소해야 합니다. 그리고 마모성이 있는 천은 절대 사용하지 마세요. 석영 표면에 작은 흠집이 생기면 스트레스가 생깁니다. 열循環이 반복될 때 그 흠집이 파열로 이어질 수 있습니다. 프로젝트 중에는 그런 상황을 원하지 않겠죠.