半導体加熱器の配線を正しく行うために
半導体製造工場では、「十分に良い」ということはありません。わずかな電気漏れでも、すべてを台無しにしてしまいます。そのため、このような加熱器にはPTFE（テフロン）コーティングされた配線を使用します。これにより、激しい温度変化にも耐えられ、割れたり、異常なガスが発生したりすることがありません。
配線というのは、単に電力を伝えるためのもの以上の役割を果たします。それは、最後の防御手段なのです。
なぜすべての配線をテストするのか
ここでは「バッチサンプリング」は行いません。それはあまりにもリスクが高いからです。代わりに、出荷前にすべての配線に対して耐圧試験や絶縁抵抗試験を行います。
なぜでしょうか？というのも、テフロンコーティングに微小な穴があるだけで、加熱器が高温に達した瞬間にアークが発生し、短絡が起こってしまうからです。そうなると、ワイフ全体が廃棄されてしまいます。
私たちは、通常の動作限界をはるかに超える電圧をかけてテストします。そうすれば、品質管理ラボで欠陥を見つける方が、実際の生産現場で問題が発見されるよりも良いのです。
知っておくべきトレードオフ
PTFEが最高の素材である理由があります。化学物質と反応しない上、PVCやシリコンが溶けてしまうほどの高温にも耐えられます。また、壁が薄いため、配線が多くのスペースを取りません。
しかし、欠点もあります。それは、硬いということです。シリコンのように簡単に曲げることはできません。もし加熱器の配置に曲がり角が多い場合は、曲がり半径に注意する必要があります。急に曲げると、銅のコアに過度な負担がかかってしまいます。
安全を守るために
高温環境で配線を設置する際、その絶縁材が電流が筐体内に漏れ出るのを防ぎます。これにより、機器が接地され、何よりも作業員の安全が守られます。
絶縁抵抗をチェックして、漏れがほぼないことを確認します。
最後に、高電圧を使用する場合は、コネクタもしっかりチェックしてください。テフロン配線と同じ程度の高温に耐えられるかどうかを確認してください。もし耐えられなければ、どんなに優れた配線でも、接続部分が弱点となってしまいます。