Di area pengolahan tersebut, perubahan suhu sebesar 0,1°C saja sudah cukup untuk mengubah profil fotoresist hingga beberapa nanometer. Perubahan ini akan terlihat pada laporan hasil produksi. Dalam proses litografi, faktor termal sangat penting; hal ini merupakan syarat mutlak yang harus dipenuhi. Kami merancang lampu berfilamen tungsten yang terbuat dari kuarsa berkualitas tinggi agar dapat mempertahankan kondisi termal yang stabil, sehingga proses produksi dapat berjalan secara konsisten.
Energi inframerah berpanjang gelombang pendek berasal dari filamen tungsten yang berada di dalam kuarsa berkualitas tinggi. Energi ini memberikan pemanasan yang cepat dan efektif, dengan kontrol spektral yang tepat. Di zona panas tersebut, keseragaman suhu pada permukaan wafer tetap stabil pada kisaran ±0,1°C, dan titik suhu dapat dikontrol dengan kecepatan respons sub-detik. Lampu-lampu ini dirancang untuk digunakan di ruang kerja bersih tipe 1–100, dengan bahan-bahan yang digunakan untuk mencegah munculnya partikel dan kontaminasi. Lampu-lampu ini dapat beroperasi 24/7; kami telah melihatnya beroperasi lebih dari 5.000 jam tanpa penurunan kinerja lebih dari 5%.
Hal ini sangat penting, terutama di stasiun pemanggangan. Proses pemanggangan yang tepat akan menentukan profil pelarut fotoresist serta tingkat adherensinya. Jika suhunya terlalu rendah, pelarut akan tertahan di dalam lapisan fotoresist. Sebaliknya, jika suhunya terlalu tinggi, profil pelarut akan berubah. Lampu-lampu kami mempertahankan suhu yang stabil, sehingga dimensi kritis dan sudut samping lapisan fotoresist tetap sesuai standar, dari siklus ke siklus.
Hasilnya adalah lapisan fotoresist yang berkualitas baik, jumlah limbah yang berkurang, dan pengurangan jumlah produk yang perlu diperbaiki. Selain itu, konsumsi energi juga berkurang karena proses pemanasan yang efisien. Umur pakai lampu yang lebih panjang juga mengurangi interval penggantian lampu, sehingga waktu downtime pun berkurang.
Pemasangannya mudah, tetapi tetap perlu dilakukan dengan hati-hati. Pastikan lampu cocok dengan geometri reflektor serta nilai PID kontrol suhu, agar tidak terjadi titik panas. Periksa juga kompatibilitas tegangan dan konektor dengan oven atau alat pelapis asli, serta pastikan saluran pembuangan udara bersih dan kering.
Perlakukan kuarsa seolah-olah itu merupakan bagian dari ruang proses. Gunakan sarung tangan saat menangani kuarsa, pastikan permukaannya tidak memiliki sidik jari, dan pastikan profil pemanggangan sudah divalidasi menggunakan wafer yang telah dikalibrasi sebelum melepaskan produk tersebut ke pasar.