300 मिमी आकार की फैब लाइनों में, फोटोरेजिस्ट के सॉफ्ट बेक प्रक्रिया के दौरान होने वाली त्रुटियों, या वेफर को सुखाने के दौरान होने वाली समस्याओं को बर्दाश्त नहीं किया जा सकता। जब थर्मल बजट सीमित होता है, तो हीटिंग एलिमेंट केवल एक हार्डवेयर घटक ही नहीं होता; बल्कि यह प्रक्रिया का ही हिस्सा होता है। हमारे ऑनलाइन इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूल, ऐसी ही परिस्थितियों के लिए बनाए गए हैं… ये अनुमानों के बजाय, उपकरणों में ही सटीक तापमान नियंत्रण संभव बनाते हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग करते हैं, ताकि ऊर्जा तेज़ी से एवं सीधे ही वेफर तक पहुँच सके… इससे बेकिंग जोन में वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… जो कि सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक है। ये एमिटर बिना किसी कण उत्पन्न किए ही काम करते हैं… एवं ये क्लास 1 से लेकर क्लास 100 तक के वातावरणों में भी काम कर सकते हैं। 5,000+ घंटों तक इनका आउटपुट स्थिर रहता है… इसलिए तापमान नियंत्रण भी स्थिर रहता है… एवं लैंप के उम्र बढ़ने के बावजूद भी CD एवं दोषों संबंधी समस्याएँ नहीं होतीं।
यह क्यों काम करता है?
लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में, ये मॉड्यूल सॉफ्ट बेक प्रक्रिया के दौरान तापमान को नियंत्रित करते हैं… ताकि विलायकों का वाष्पीकरण रेजिस्ट विनिर्माता द्वारा निर्धारित मानकों के अनुसार ही हो सके… न कि वातावरणीय परिस्थितियों के आधार पर। सुखाने की प्रक्रिया में, ये मॉड्यूल बिना किसी दोष के ही तापीय प्रक्रिया को पूरा करते हैं… जिससे पुनर्कार्य एवं अपशिष्ट कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम होती है… क्योंकि ये एमिटर केवल लक्षित वेफर को ही गर्म करते हैं, पूरे चेम्बर को नहीं।
जब आपको लाइन को चालू रखने की आवश्यकता होती है, तो…
ऑनलाइन स्पेयर्स उपलब्ध हैं… नए मॉड्यूलों को मौजूदा उपकरणों में ही लगाया जा सकता है… ताकि पूरी प्रक्रिया को फिर से चालू किया जा सके… बिना पूरी प्रक्रिया को पुनः निर्धारित किए।
यही वह हिस्सा है जिसकी आपको योजना बनानी है…
इन्फ्रारेड हीटिंग में, ज्यामिति एवं एमिटिविटी बहुत महत्वपूर्ण है… एमिटरों की व्यवस्था ऐसी होनी चाहिए कि वेफर का तापमान सटीक रूप से नियंत्रित हो सके… फिर साइट एक्सेप्टेंस टेस्ट किया जाता है… ताकि वास्तविक वेफर तापमान का पता चल सके। थोड़े समय बाद ही तापमान स्थिर हो जाता है… तापमान नियंत्रण ही एक स्थिर प्रक्रिया एवं महंगी जाँचों के बीच का अंतर है।