अपने वेफरों को वास्तव में साफ रखना आवश्यक है।
जब MEMS सेंसर वेफरों को सुखाया जाता है, तो गर्मी ही पूरी समस्या का समाधान नहीं है। वास्तविक समस्या तो कणों का निकलना है। क्लास 100 क्लीनरूम में, पुराने इन्सुलेशन सामग्री के छोटे-छोटे टुकड़े या धातु ऑक्साइड के कण ही पूरे वेफरों को नष्ट कर सकते हैं। यह बहुत ही परेशान करने वाली एवं महंगी समस्या है।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों का ही उपयोग करते हैं।
“सामान्य” गर्मी स्रोतों की समस्याएँ
अधिकांश गर्मी स्रोतों में ऐसी समस्या होती है कि वे गर्म होने/ठंडे होने के दौरान अपने टुकड़े छोड़ देते हैं। हम ऐसा नहीं करते। उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करने से हमें ऐसी सामग्री मिलती है, जो अत्यधिक तापमान में भी टूटती या खराब नहीं होती।
हमने कार्बनिक बाइंडरों एवं सस्ती परतों को भी हटा दिया। क्यों? क्योंकि ऐसी सामग्रियाँ वाष्पित होकर वेफरों पर जम सकती हैं। इसके बजाय, हमें ऐसा गर्मी स्रोत मिलता है, जो बिना किसी गंदगी के अपना काम करता है।
धूल को रोकना
कन्वेक्शन हीटिंग में हवा का उपयोग किया जाता है… और हवा का मतलब ही धूल का उत्पन्न होना है। हम इसके बजाय शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग करते हैं। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड, वेफर पर मौजूद पानी के अणुओं में सीधे ऊर्जा पहुँचाता है। यह बहुत ही तेज़ है… और चूँकि हम वेफर पर उच्च-गति वाली हवा नहीं भेजते, इसलिए क्लीनरूम में कोई धूल नहीं उत्पन्न होती।
सेटअप संबंधी विवरण
इन लैंपों को ड्रायिंग स्टेशन में लगाना इतना आसान नहीं है… आपको ऊर्जा स्रोत को सही तरीके से सेट करना होगा। इन उच्च-वॉटेज वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों के कारण आपके पावर सप्लाई पर भी दबाव पड़ता है।
आपको अपनी शीतलन प्रणाली की भी जाँच करनी होगी… यदि हवा का संचालन सही तरीके से न हो, तो वातावरणीय गर्मी से वेफरों पर नुकसान हो सकता है। इसलिए शुरू से ही हवा का संचालन सही तरीके से करें।
हम इन लैंपों को ऐसी जगह पर ही रखते हैं, ताकि वे आपके वैक्यूम चैंबरों/ड्रायिंग टनलों में आसानी से फिट हो सकें। इससे सीधी ऊष्मा-स्थानांतरण होती है, सुखाने में समय कम लगता है, एवं उत्पादन भी बेहतर होता है। ध्यान रखें कि आपके वायरिंग सिस्टम की क्षमता इस ऊष्मा-भार को संभालने के लिए पर्याप्त हो। कोई भी व्यक्ति जले हुए वायरों को पसंद नहीं करता।