בחדרי הייצור, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה אינו ניכר – הוא פשוט גורם לירידה באיכות המוצר, וכתוצאה מכך כל המוצרים נהפכים לפסולת. בתהליכי ליתוגרפיה אין מקום להערכות, ואין זמן לעצירות בלתי מתוכננות. ייצור בר-קיימא הוא תהליך מדיד – וואטים לכל וופר, מספר החלקיקים לכל רגל מעוקב, וזמן הפעולה הרציף שצריך להיות קבוע לאורך 7×24 שעות.
מה חשוב מבחינה טכנית
יצרנו את מערכות החימום כך שהטמפרטורה תהיה אחידה ברמת הוופר, בטווח של ±0.1°C. כך, תהליכי האפייה יתבצעו באופן חוזר ונשנה. חימום באמצעות אינפרא-אדום גורם להעברה מהירה ויעילה של אנרגיה, ובכך מונעים שינויים לא רצויים בטמפרטורה. תאימות לתקני חדרי ניקיון מסוג 1–100 אינה דבר נוסף – היא חלק מהעיצוב של המערכת: חדרים אטומים, חומרים שאינם פולטים גזים, ואין יצירת חלקיקים במהלך התהליך.
ניתן לצפות לזמן פעולה אמין. זמן הפעולה הממוצע הוא שנים רבות, ותוחלת החיים של המערכת עולה על 5,000 שעות, עם ירידה מינימלית באיכות המוצר.
למה זה עובד במקום שבו אתם משתמשים בו
אתם מעבירים את הוופרים דרך תהליכי עיבוד ואפייה, ויציבות הטמפרטורה היא זו שקובעת את איכות המוצר. שליטה מדויקת בטמפרטורה מקצרת את זמן התהליך, מפחיתה את כמות הפסולת, ומפחיתה את צריכת האנרגיה לכל מחזור.
האמינות של המערכת מבטיחה שהייצור יתנהל באופן רציף – ללא עצירות בלתי מתוכננות, ללא תיקונים דחופים, ועם פחות חלקי חילוף במלאי. התוצאה היא עלות נמוכה יותר לכל וופר, עלויות ייצור יציבות, ויכולת לעמוד בדרישות ESG מבלי להאט את קצב הייצור.
דברים שצריך לדעת
מערכות אלו יכולות להתחבר למערכות הקיימות, אך יש להתאים את פרופיל החימום לסוג החומרים ולתהליכי העיבוד. יש לבצע בדיקות ראשוניות כדי לקבוע את קצבי החימום ואת זמני האפייה הנכונים.
השימוש במערכות אלו פשוט, אך יש צורך במעגל חשמלי נפרד – אחרת עלולה להיות חוסר יציבות בזמן שינויי הטמפרטורה המהירים.