حفظ تمیزی سنسورهای بیولوژیکی
وقتی که در اتاقهای پاکیزهی کلاس ۱۰۰ کار میکنید، میدانید که باید چه کاری انجام دهید. حتی یک ذرهی کوچک گرد و غبار – حتی یک تکهی ریز از الکترود – میتواند کل محصول شما را بیارزش کند. این موضوع بسیار ناامیدکننده است. اکثر عناصر گرمایشی مناسب این کار نیستند؛ زیرا در لحظاتی که نیاز به ثبات دارند، گازهایی تولید میکنند یا ذراتی از خود خارج میکنند.
به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا روی آوردیم.
چرا کوارتز مؤثر است؟
ما از کوارتز با خلوص بسیار بالا استفاده میکنیم؛ به طوری که حتی در دمای بالا نیز، هیچ ترکیبات آلی فراری تولید نمیشود. برخلاف آن دسته از گرمایشکنهای فلزی که با گذشت زمان پوستهشان پاره میشود، لولههای کوارتزی هموار باقی میمانند. عنصر گرمایشی درون لوله به خوبی مهر و موم شده است؛ بنابراین گرما از طریق تابش منتقل میشود. از آنجایی که گرمایشکن هرگز به سطح سنسور تماس نمیپذیرد، نیازی به نگرانی دربارهی آلودگی فیزیکی نیست. این روش، روشی تمیزتر برای کار است.
سرعت و گرما
این لامپها از طیف مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنند. به عبارت ساده، میتوانید در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر برسید. این روش بسیار سریع است. و این موضوع همه چیز را تغییر میدهد؛ زیرا هرچه زمان گرم شدن ویفر کمتر باشد، زمانی که آلایندههای هوایی بتوانند روی آن بنشینند، کمتر خواهد بود.
اما یک هشدار: مراقب چگالی انرژی لامپ باشید. این لامپها مقدار زیادی گرما را در فضای کوچکی ذخیره میکنند؛ اگر بدنهی لامپ برای تحمل چنین باری ساخته نشده باشد، ممکن است قطعات مربوط به مونتاژ لامپ دچار تغییر شکل شوند یا تجهیزات الکترونیکی دچار گرمای بیش از حد شوند. پیشنهاد میکنم برای حفظ ثبات هوای اطراف لامپ، از سیستمهای خنککننده استفاده کنید.
روش نصب و نگهداری لامپها
ما این لامپها را با کانکتورهای استاندارد ساختیم؛ بنابراین میتوانید آنها را بدون هیچ مشکلی در دستگاه خود نصب کنید. این کار باعث کاهش زمان توقف دستگاه و افزایش پیشرفت کار میشود.
برای حفظ تمیزی لامپها، فقط کافی است از الکل ایزوپروپیلیک درجهی الکترونیکی برای تمیزکاری استفاده کنید. لطفاً از پارچههای ساینده استفاده نکنید. حتی یک خراش کوچک روی سطح کوارتز میتواند منجر به مشکلاتی شود؛ زیرا در هنگام چرخههای حرارتی، آن خراش میتواند به ترکی تبدیل شود. این واقعاً چیزی نیست که بخواهید در وسط یک پروژه با آن روبرو شوید.