En la planta de fabricación, las fluctuaciones de temperatura durante el secado o horneado no solo se reflejan en los gráficos, sino que también afectan directamente al rendimiento del proceso. Una variación de 1°C puede causar cambios en las dimensiones críticas del wafer, en términos de nanómetros. Además, un calentador sucio puede liberar partículas que dañan el wafer. Por eso, hemos creado un calentador de semiconductores controlado por PID, para eliminar esa variabilidad desde su origen.
Lo que realmente importa, desde el punto de vista técnico, es mantener la temperatura dentro de un rango de ±0.1°C en todo el wafer. La uniformidad de la temperatura en la zona donde se encuentra el wafer es superior a ±0.5°C, lo que asegura que toda la capa de fotorevestimiento reciba la misma cantidad de calor. La respuesta del calentador es inferior a 300 ms, lo que permite un control preciso de las temperaturas. La ventana de cuarzo y la carcasa compatible con salas limpias están diseñadas para operar en condiciones de clase 1–100. Además, el calentador no libera ninguna partícula durante su funcionamiento. A lo largo de 24 horas, la repetibilidad de la temperatura es de ≤0.2°C, lo cual es suficiente para mantener los parámetros de calidad del wafer dentro de los límites aceptables.
Así es como funciona este sistema en el proceso de fabricación:
Para el secado del wafer, el flujo infrarrojo rápido y uniforme elimina la humedad de la superficie sin dañar el sustrato. Esto reduce los defectos relacionados con la tensión superficial y evita manchas en la superficie del wafer. En la litografía, esta misma plataforma permite realizar procesos de horneado suaves y duros, con perfiles reproducibles. Eso es exactamente lo que se necesita para asegurar una espesor constante del fotorevestimiento, así como una buena adhesión y selectividad en el proceso de grabado.
El control PID compensa las fluctuaciones de temperatura, los cambios en las condiciones ambientales, etc. De esta manera, incluso a las 3 de la mañana, las condiciones de temperatura son similares a las de las 3 de la tarde. Además, el consumo de energía disminuye, ya que el infrarrojo calienta únicamente el objetivo, no toda la estructura.
Unos puntos prácticos:
La instalación del calentador depende de la emisividad y del factor de visión. Las capas oscuras o los protectores pueden crear puntos calientes locales. Por eso, entregamos un mapa de calibración y recomendamos que realice pruebas con un perfilador térmico en su propio equipo. El calentador funciona con voltajes estándar de 24 V, pero el ajuste del PID debe hacerse según las necesidades específicas del proceso. Planifique un breve período de pruebas para determinar los tiempos de respuesta del calentador.