Mantener las obleas en buen estado durante el secado
Cuando se secan las obleas de sensores MEMS, el calor es solo una parte del proceso. El verdadero problema son las partículas que se desprenden durante el calentamiento y enfriamiento. En una sala limpia de clase 100, incluso una pequeña partícula de aislamiento antiguo o un grano de óxido metálico puede arruinar todo el lote de obleas. Es frustrante y además muy costoso.
Por eso optamos por lámparas infrarrojas de cuarzo de alta pureza.
El problema con el calor “estándar”
La mayoría de los elementos calefactores tienen la mala costumbre de liberar gases o partículas al calentarse y enfriarse. Nosotros evitamos esto. Al utilizar cuarzo de alta pureza, obtenemos un material que puede soportar shocks térmicos extremos sin agrietarse ni dañarse.
También eliminamos los materiales orgánicos y recubrimientos baratos. ¿Por qué? Porque esos materiales pueden volatilizarse y depositarse directamente sobre las obleas. En su lugar, obtenemos una fuente de calor que cumple su función sin dejar residuos.
Evitar la movilización del polvo
El problema con la calefacción por convección es que depende del movimiento del aire. Y el movimiento del aire significa también el movimiento del polvo. Nosotros utilizamos luz infrarroja de onda corta. Esta técnica permite transmitir energía directamente a las gotas de agua presentes en las obleas. Es rápido. Muy rápido. Además, como no se utiliza aire a alta velocidad, no se generan partículas en la sala limpia.
Detalles importantes en la instalación
Instalar estas lámparas en una estación de secado no es tan sencillo como simplemente conectarlas. Es necesario asegurarse de que la potencia sea adecuada. Estas tuberías de cuarzo de alta potencia generan mucha energía, por lo que los sistemas de alimentación eléctrica deben estar preparados para soportar esa carga.
También es importante verificar bien el sistema de refrigeración. Si la carcasa no está bien ventilada, el calor ambiental podrían dañar los soportes utilizados para fijar las obleas. Es difícil arreglarlo una vez que ocurre, así que es mejor asegurarse de que el flujo de aire sea adecuado desde el principio.
Hacemos que las lámparas ocupen poco espacio, para que puedan instalarse fácilmente en las cámaras de vacío o túneles de secado. De esta manera, se logra una transferencia de calor más eficiente, tiempos de secado más rápidos y mejores resultados. Un consejo: asegúrese de que los cables sean adecuados para soportar la carga térmica. A nadie le gusta que los terminales se quemen.