In der Fabrikhalle erhält ein LPCVD-Ofen keine zweite Chance aufgrund von thermischen Abweichungen. Schon eine kleine Abweichung führt dazu, dass die Schichtdicke nicht korrekt ist, die Dotierungspunkte nicht an der richtigen Stelle liegen – und am Ende hat man nur noch Haufen von beschädigten Wafern. Wir haben das Heizelement so konstruiert, dass die Temperatur im Laufe mehrerer Betriebszyklen konstant bleibt.
Was technisch wichtig ist:
Das Heizelement nutzt die Stabilität des Quarzes sowie die Reaktion auf kurzwelliges Infrarotlicht, um die Temperatur schnell und gleichmäßig zu erhöhen. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur auf den Wafern liegt dabei bei ±0,1°C. Die verwendeten Materialien sind förderbedingt geeignet, sodass die Anzahl der Partikel unterhalb der geforderten Werte bleibt. Dadurch wird sowohl die Kammer als auch die Wafern vor Schäden geschützt. Die Wiederholgenauigkeit ist bereits in der Konstruktion berücksichtigt – dadurch liegen alle Chargen innerhalb der Spezifikationen.
Warum das Heizelement in der Praxis funktioniert:
Die Temperaturstabilität ist entscheidend für die Qualität der Produkte. Das Heizelement hält die eingestellte Temperatur auch während 7×24-Stunden-Betrieb aufrecht. Dadurch gibt es keine unplanmäßigen Ausfälle. Die Schritte zur Behandlung der Fotolackschichten erfolgen mit präziseren Vorgaben – dadurch werden Fehler vermieden. Zudem senken die schnelle Erhitzung sowie die geringen Standby-Kosten den Energieverbrauch. Eine längere Lebensdauer bedeutet weniger Ersatzteile und weniger Wartungsarbeiten – was wiederum die Kosten pro verarbeiteter Wafer senkt.
Was bei der Installation beachtet werden muss:
Bei der Installation sind insbesondere der Abstand zwischen den Komponenten sowie der Anzugsmoment wichtig. Befolgen Sie unbedingt die Anweisungen im Installationskit. Inkompatible Hardware kann zu Hotspots führen – das führt wiederum zu Abweichungen in der Temperaturverteilung. Das Heizelement passt zu den standardmäßigen LPCVD-Plattformen – doch überprüfen Sie vor dem Austausch zunächst die Geometrie der Plattform sowie die thermische Belastung. Nach dem Austausch sollte eine Aufwärmphase stattfinden, um die Temperatur wieder zu stabilisieren. Planen Sie dies während der Wartungsarbeiten ein, damit Sie nicht direkt im Produktionsbetrieb damit zu kämpfen haben.