Na výrobní lince znáte postup: pečení fotorezistu, které se odchýlí o 0,2 °C, může vychýlit kritickou kontrolu rozměrů z tolerance a snížit...

Na výrobní podlaze se rychle učíte: odchylka teploty pečení o 0,1 °C může posunout kritickou dimenzi o nanometry a zničit hodiny práce s litografií....