Jak zabránit posouvání ohřívačů na vozíku v čisté místnosti
Když pracujete v továrně na polovodiče, ohřívač na vozíku slouží nejen k udržování teploty waferů v požadované hladině. Jde především o to, abychom zabránili vážným elektrickým poruchám uprostřed sterilní místnosti. Samozřejmě, tyto zařízení jsou navržena tak, aby dosahovala určitých teplot, ale to, co opravdu zajišťuje klidný spánek, je jejich elektrická spolehlivost.
Proč testujeme každý jednotlivý kus
Zde nepoužíváme metodu náhodného vzorkování – to je příliš riskantní. Místo toho každý ohřívač prochází řadou testů odolnosti vůči vysokému napětí a odolnosti izolačních vrstev, než vůbec opustí naši továrnu.
Používáme vysoké napětí, abychom se ujistili, že izolace vydrží.
Proč se obtěžovat s tímto procesem? Protože pokud ohřívač selže v čisté místnosti, nejde jen o výměnu rozbité součástky. Mohou nastat úniky proudu, které mohou poškodit citlivé wafery nebo vyvolat situaci spojenou s elektrostatickým napětím. Jedna malá díra v povrchové vrstvě nebo mikrotrhlina v keramice mohou způsobit velké problémy. Testujeme všechno, abyste se o to nemuseli starat.
Bezpečnostní opatření
Aby se zabránilo úniku proudu, používáme vysoce kvalitní dielektrické materiály, které izolují ohřívač od rámu vozíku. To je velmi důležité, protože v čistých prostorách platí přísná pravidla týkající se uzemnění, aby se zabránilo hromadění statického napětí.
Ale většina poruch se nestává v samotném ohřívači. Stávají se na bodech spojení. Vozíky se pohybují, vibrují – tento pohyb může časem poškodit izolaci nebo uvolnit dráty. Abychom tomu zabránili, používáme zesílené konektory. Je to jednoduché řešení, ale právě ono zajišťuje správný fungování zařízení.
Kompromisy, o kterých byste měli vědět
Je tu však jeden kompromis. Vysoká odolnost izolačních vrstev je nezbytná, ale má svou cenu. Tlustší dielektrické vrstvy zvyšují bezpečnost zařízení, ale zároveň zpomalují rychlost ohřevu. Obměňujete tedy trochu rychlost ohřevu za naprostý klid.
Jen upozornění: pravděpodobně budete muset upravit parametry PID regulátorů, abyste se vypořádali s tímto zpožděním. Pokud to neuděláte, může dojít k tomu, že teploty překročí požadované hodnoty. Trvá chvíli, než to nastavíte, ale jakmile to uděláte, bude vše v pořádku.