ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্টকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় গরম করা কোনো পরামর্শ নয়—এটা অবশ্যিক শর্ত। সফট বেক বা হার্ড বেকে ২°C এর পার্থক্যও গুরুত্বপূর্ণ...

ফ্যাব ফ্লোরে, LPCVD চুল্লিগুলোর জন্য থার্মাল ড্রিফটের কোনো সুযোগ নেই। একবার থার্মাল ড্রিফট ঘটলেই ফিল্মের পুরুত্ব ভুল হয়ে যায়; ডোপড জাংশনগুলো ঠিক...