ফ্যাব ফ্লোরে, বেকিং তাপমাত্রায় ০.১°C এর পরিবর্তনও ফটোরেসিস্টের গুণমানকে ন্যানোমিটার পর্যায়ে পরিবর্তন করে দেয়—আর এই পরিবর্তনটি ইয়েল্ড শিটেও দেখা যায়। লিথোগ্রাফিতে তাপীয় নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য; এটাই হলো প্রক্রিয়ার মৌলিক শর্ত। আমরা ঐ শর্তগুলো মেনে চলার জন্য টাঙ্গস্টেন ফিলামেন্টযুক্ত কোয়ার্টজ ল্যাম্প তৈরি করেছি; যাতে প্রক্রিয়াটি নির্ভুলভাবে সম্পন্ন হয়।
সংক্ষেপে, শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড শক্তি উচ্চ-ঘনত্বের কোয়ার্টজের ভিতরে থাকা টাঙ্গস্টেন ফিলামেন্ট থেকে আসে; এর ফলে দ্রুত ও নির্ভুলভাবে তাপ সরবরাহ হয়। হট জোনে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C-এ থাকে; আর তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সেকেন্ডের মধ্যেই সম্পন্ন হয়। এই ল্যাম্পগুলো ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এ ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; এখানে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হয় এবং দূষণ না ঘটে। এই ল্যাম্পগুলো ২৪/৭ কাজ করে; আমরা দেখেছি যে ৫,০০০ ঘণ্টা পরেও এগুলোর কার্যক্ষমতা ৫% এরও কম কমে যায় না।
বেকিং স্টেশনে এটা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” পদ্ধতির মাধ্যমে ফটোরেসিস্টের গুণমান নিয়ন্ত্রিত হয়। তাপমাত্রা খুব কম হলে ফটোরেসিস্টে সলভেন্ট আটকে যায়; আবার খুব বেশি হলে ফটোরেসিস্টের গঠন পরিবর্তিত হয়ে যায়। আমাদের ল্যাম্পগুলো তাপমাত্রাকে স্থিতিশীল রাখে; ফলে প্রতি চক্রেই গুণমান নিয়ন্ত্রিত থাকে।
এর ফলে ভালো গুণমানের পণ্য পাওয়া যায়, অপচয় কমে যায়, আর পুনর্কাজের প্রয়োজনও কমে যায়। এছাড়া, রেডিয়েন্ট ও কার্যক্ষম তাপ সরবরাহের কারণে শক্তি সাশ্রয় হয়; আর ল্যাম্পের দীর্ঘ জীবনকালের কারণে রিপ্লেসমেন্টের প্রয়োজনও কমে যায়।
ইনস্টলেশন খুবই সহজ; কিন্তু সাবধানতা অবলম্বন করা প্রয়োজন। ল্যাম্পটিকে রিফ্লেক্টরের গঠন ও থার্মাল কন্ট্রোলারের PID সেটপয়েন্টের সাথে মেলানো উচিত; যাতে কোনো হট স্পট না তৈরি হয়। ভোল্টেজ ও কানেক্টরের সামঞ্জস্য যাচাই করা উচিত; আর এক্সহস্ট পথটি পরিষ্কার ও শুকনো রাখা উচিত।
কোয়ার্টজকে একটি প্রসেস চেম্বারের মতো ব্যবহার করুন। গ্লাভস ব্যবহার করুন, এটিকে আঙুলের ছাপমুক্ত রাখুন; আর পণ্য ছেড়ে দেওয়ার আগে ক্যালিব্রেটেড ওয়েফার ব্যবহার করে বেকিং প্রক্রিয়াটি যাচাই করুন।